半導體行業(yè)高度依賴超純水系統。超純水在晶圓清洗、濕法蝕刻、化學機械拋光等關鍵工藝中起關鍵作用，確保器件性能和制造精度。系統通過多級純化工藝達到高純度要求，具有穩(wěn)定性、可靠性、安全性和環(huán)保性。隨著半導體技術發(fā)展，超純水需求增長，對系統純度和穩(wěn)定性提出更高挑戰(zhàn)。超純水系統為半導體制造提供高質量水源，推動行業(yè)進步。

使用單位：某半導體企業(yè)西安工廠
安裝設備：艾柯實驗室超純水系統
設備型號：AK-RO-UP-500
制水量：500L/H
安裝時間：2024年10月23日

客戶單位成立于2001年， 是一家專注技術創(chuàng)新的科技公司，在安防、智能物聯領域耕耘二十余年， 產品和解決方案應用在150多個國家和地區(qū)，致力于將物聯感知、人工智能、大數據技術服務于千行百業(yè)，引領智能物聯新未來。

此次安裝的艾柯AK-RO-UP-500實驗室超純水系統，具備每小時生產500升高品質純水的能力，它集成了全自動水處理技術的核心優(yōu)勢。從預處理到超純化，系統的每一步都實現了精確控制，以確保水質達到最佳狀態(tài)。其高度自動化的設計大幅減少了人工操作的需求，同時，高效的節(jié)水設計也顯著降低了運行成本。系統內置了智能監(jiān)控功能，能夠實時監(jiān)測液位、壓力和水質，從而確保系統的安全穩(wěn)定運行。此外，該系統還支持根據實驗室的具體需求進行個性化定制，以滿足各種多樣化的用水需求。艾柯超純水系統憑借其智能化和高效能的顯著特點，為科研創(chuàng)新活動提供了穩(wěn)定且可靠的純凈水資源。

在半導體制造行業(yè)中，超純水的重要性無可替代，其應用范圍既廣泛又深入。在半導體生產的各個環(huán)節(jié)中，超純水扮演著至關重要的角色。作為清洗、蝕刻、摻雜等關鍵步驟的媒介，超純水確保了芯片制造過程的精確與高效。它能夠徹底清除可能影響半導體元件性能的任何雜質，為制造出高質量的半導體產品提供了堅實的保障。

在半導體的研發(fā)與測試階段，超純水同樣至關重要。它被廣泛用于精密儀器的清洗與維護，以確保測量與測試的準確性；同時，作為化學試劑配制、樣品稀釋與校準的基礎，超純水保障了實驗數據的可靠性與可重復性，為半導體技術的研發(fā)提供了有力的支持。

隨著半導體行業(yè)的不斷發(fā)展，對超純水的需求也在持續(xù)增長。為了應對這一挑戰(zhàn)，企業(yè)不斷致力于提升超純水的制備技術，優(yōu)化生產工藝，以提高資源利用效率。同時，加強廢水處理與回收利用也成為了行業(yè)關注的重點，旨在實現半導體制造的可持續(xù)發(fā)展。

艾柯實驗室超純水系統采用全自動水處理系統設計,系統以預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等主要工藝組成,系統具有自動化程度高,系統穩(wěn)定性高,水利用率高,大大節(jié)省人力成本和維護成本,運行可靠。設備水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表，具有更高的性價比和可靠性。系統制水量可根據客戶需求定制,滿足實驗室純水/超純水的用水需求。

性能特點

全自動前期預處理系統
全自動多介質過濾器，全自動活性碳過濾器，全自動軟化器、精密過濾器等構成前期預處理系統，高效去除水中的大顆粒雜質，對RO膜進行保護。

RO反滲透主機系統
配備保安過濾裝置對0.01um以上顆粒實現99.9%的攔截率對RO膜進行保護，同時自動反沖洗RO反滲透膜，延長RO反滲透膜的使用時間。

全自動系統檢測控制功能
水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表，運行更加的穩(wěn)定可靠。

在線水質檢測功能
系統可同時檢測顯示純水/超純水電導率、溫度的水質以及電阻率，可隨時了解水質情況。