半導(dǎo)體測試檢驗中,超純水至關(guān)重要。它用于清洗晶圓表面,去除微粒、有機物及金屬離子,確保器件純凈。在濕法工藝如蝕刻、拋光和光刻中,超純水作為稀釋劑或清洗介質(zhì),保障工藝精度。同時,它還用于濕法檢測和去膜,以及設(shè)備清洗,確保實驗室環(huán)境滿足高標準要求。超純水的高純度是半導(dǎo)體制造與測試成功的關(guān)鍵。
使用單位:成都某檢測技術(shù)有限公司
安裝設(shè)備:實驗室中央超純水系統(tǒng)
設(shè)備型號:AKZY-RO-UP-II-500
制水量:500L/H
安裝時間:2024.8.26
成都某檢測技術(shù)有限公司,自2018年成立以來,始終致力于半導(dǎo)體檢驗檢測服務(wù)領(lǐng)域的探索,以精準的技術(shù)和嚴謹?shù)膽B(tài)度為行業(yè)提供高質(zhì)量的檢測解決方案。近期,為了進一步提升檢測實驗室的純凈水處理能力,精心挑選并訂購了艾柯的AKZY-RO-UP-II-500型實驗室超純水系統(tǒng)。該系統(tǒng)憑借每小時500升的制水能力,完美契合了客戶公司的檢測需求。
AKZY-RO-UP-II-500系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,集成了預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機以及EDI電除鹽系統(tǒng),確保了從源頭到出水每一步的純凈與穩(wěn)定。此設(shè)計不僅提升了系統(tǒng)的整體性能,還提高了水資源的利用效率。
艾科的專業(yè)工程師團隊全面完成了現(xiàn)場安裝調(diào)試工作,并進行了細致的水質(zhì)檢測與校準,確保每一項水質(zhì)指標均嚴格符合行業(yè)標準,為客戶提供了堅實可靠的純水保障。
艾柯實驗室中央超純水系統(tǒng)是采用AK專用全自動化控制系統(tǒng)設(shè)計,結(jié)合了生物分析、藥物成分分析等實驗室用水量以及水質(zhì)需求研發(fā)了多種超純水設(shè)備機型,一體式模塊化設(shè)計占地面積小、方便耗材更換,同時可隨時升級水處理模塊,智能化后處理系統(tǒng)操作,確保運行穩(wěn)定的同時能夠快速的制取出符合技術(shù)參數(shù)的純水以及超純水。產(chǎn)水量200L/H-1000L/H可選,RO水水質(zhì)優(yōu)于GB6682-2008三級水標準,超純水水質(zhì)標準優(yōu)于GB6682-2008一級水標準。
01/一機兩用設(shè)計:可同時制取純水和超純水,同時可滿足清洗、實驗、制劑、分析、科研等用途
02/AK專用PLC微電腦控制技術(shù):配備了PLC微電腦終端,全自動化運行,以及自動液位保護、自動壓力控制等,操作簡單快捷,無需專人看守,能夠更加穩(wěn)定高效的制取純水和超純水
03/雙路水質(zhì)檢測顯示功能:系統(tǒng)可同時檢測顯示純水/超純水電導(dǎo)率、溫度的水質(zhì)以及電阻率,可隨時了解記錄水質(zhì)情況
04/原裝進口RO反滲透膜:配備了原裝進口RO反滲透膜,保證純水水質(zhì)穩(wěn)定、延長后級純化柱和超純化柱的壽命
05/內(nèi)置超純水循環(huán)程序:系統(tǒng)內(nèi)置超純水內(nèi)循環(huán)系統(tǒng),開機迅速達到18.25M2.cm,TOC≤5pbb的超純水
06/采用模塊化快接式設(shè)計:系統(tǒng)采用一體式組合封閉設(shè)計,充分體現(xiàn)了集成化、模塊化、更換維修快速化
07/系統(tǒng)具備壓力/流量自動檢測:可同時顯示進水壓力、高壓泵出水壓力、濃水壓力、純水壓力、濃水流量等
08/系統(tǒng)自動保護功能:具備開機自檢、系統(tǒng)開機自動檢測、缺水保護警報、停電自動復(fù)位、純水桶滿水后自動關(guān)機,超低壓自動保護以及RO膜自動清洗功能